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反射式膜厚測(cè)量?jī)x在薄膜厚度測(cè)量的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2021-03-29   點(diǎn)擊次數(shù):3328次
  某客戶(hù)來(lái)料檢測(cè)(PET單層膜/多層):厚度約為40~60μm。

  使用臺(tái)階儀或其他萬(wàn)分尺長(zhǎng)度量測(cè)儀器,單層能到到準(zhǔn)確的數(shù)值,操做簡(jiǎn)單,多層不能直接測(cè)量,要做出相對(duì)厚度,有臺(tái)階的樣品或其他才可以測(cè)量。

  使用我們反射式膜厚測(cè)試,直接根據(jù)材料特性(單層/多層)設(shè)置好菜單,通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)硅片校準(zhǔn)后,直接一鍵量測(cè),直接測(cè)量出單層/多層膜厚,不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成損傷,可以離線(xiàn)也可以在線(xiàn)量測(cè)。測(cè)量多層膜厚基本上不需要單獨(dú)制樣,只是在解析某一膜層折射率(材料庫(kù)無(wú)信息)時(shí)有初次制樣需求。

  反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量:半導(dǎo)體鍍膜,手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。可測(cè)量:2nm到3000μm的膜厚,測(cè)量精度達(dá)到0.1nm。 在折射率未知的情況下,還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。此外,設(shè)備也可用于準(zhǔn)確測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1mm以?xún)?nèi)。
  進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠,實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。

  配合我們的專(zhuān)*軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量,每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。軟件支持50層膜以?xún)?nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。我們軟件擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù),同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

  同時(shí),客戶(hù)還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。

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